プラズマ放電による導電ナノワイヤの形成

keywords.jpgプラズマプロセス,ナノワイヤ 

加藤 昌彦 

MASAHIKO KATOU

division.jpg工学研究院 材料・生産加工部門 機能性材料工学講座

position.jpg准教授

研究概要

研究の背景

ナノレベルの微細構造制御は,従来にはない特性が得られる場合があるため,近年注目されている.しかしながら微細構造物の形成には極めて高いコストを要する.

研究内容

ナノワイヤを得るため,時効性金属表面を種々の条件でプラズマ放電に晒し,ナノワイヤ形成条件の最適化および形成機構の解明を行った.

成果

写真に示すような,直径1μm以下,長さ数十μmのナノワイヤ状突起物が表面に成長することに成功した.本ワイヤはCrCからなり,高硬度であるとともに電気伝導性を有する.

実用化に向けて(想定業界・用途、課題、企業への期待など)

ナノワイヤの形成により表面積が著しく増加するので,放熱板,コールドエミッタ,触媒担体,薄膜コーティング用下地,工具,紙・布などの接触搬送装置,ロール表面への適用が考えられる.

本研究の特徴・優位性

微細加工技術を用いた方法と比べ,極めて低いコストであることと,基材との密着力が極めて高い点に優位性がある.

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金属材料表面へのワイヤ状突起物の形成方法、及び該ワイヤ状突起物を備える金属材料(特開2012-26002)

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