非平衡プラズマ場を用いた微粒子合成技術

keywords.jpgナノ粒子,RFプラズマ,酸化物粒子,単分散粒子 

島田 学 

MANABU SHIMADA

division.jpg工学研究院 物質化学工学部門 化学工学講座

position.jpg教授

研究概要

研究内容

気相での材料微粒子の合成は、高純度な粒子を得られる反面,粒子が凝集体となりやすく,さらに粒径・形態などの性状が揃った粒子が得られにくいという問題を抱えている。これを克服するために,反応場としての活性と均一性に優れた非平衡(低温)プラズマ場を用いて,ナノ粒子の気相合成を検討している。これまでに,高周波非平衡プラズマ中で生じる粒子の単極帯電現象を利用して,非凝集でかつサイズの揃った粒子を合成できる条件を見出してきた。また,新しい構造のマイクロ波プラズマリアクターの開発によって,困難とされていた窒化物ナノ粒子の合成に成功した。

実用化に向けて(想定業界・用途、課題、企業への期待など)

関心のある企業・研究機関等との共同研究,受託研究などを希望する。
応用分野
微粒子製造・利用産業など

本研究の特徴・優位性

・粒径10 nm以下の非凝集粒子が得られる
・マイクロ波プラズマ法では,大気圧に近い圧力で合成可能

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Shimada et al.: Plasma Synthesis of Light Emitting Gallium Nitride Nanoparticles Using a Novel Microwave-resonant Cavity. Jpn. J. Appl. Phys., 45, Pt. 1, (1A), 328-332 (2006)

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