STMによる基板表面の原子・分子レベル観察

概要

研究内容
ナノテクノロジー基盤技術として原子や分子そのものを直接観察したり、原子・分子レベルでの表面形状を観察することが重要である。
 我々は非常に良く処理して表面を原子レベルで平坦化したシリコンウエハ基板表面で、超高真空走査型トンネル顕微鏡(STM)を使用して、最表面に存在する水素原子を個別に区別して検出することに成功している。
 シリコン基板のみならず良く制御された基板表面で表面に存在する原子や分子の挙動を観察することが可能である。しかし、原子レベル観察は極めて困難な実験で、一個のデータを得るのに一ヶ月以上を要することも普通である。

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