原子間力顕微鏡(AFM)によるナノメートルサイズ表面凹凸観察

概要

研究内容
鏡面研磨された材料にも極微小な凹凸が存在している。材料表面の高機能化のためには可視光線の波長の十分の一以下のナノメートル凹凸表面を作製する事が必要となる。
 ナノメートルでの表面制御を行うためには、ナノメートルで表面の凹凸を計測することが必要である。表面凹凸のもっとも容易な観察方法は走査電子顕微鏡(SEM)による表面像の撮影であるが、SEMでは通常ナノメートルオーダーの凹凸の検出は困難である。
 原子間力顕微鏡(AFM)は対象物の電気伝導性と問わずにナノメートルレベルの凹凸像を得ることができる。また、標準スケールを用いることによって凹凸の絶対測定も不可能ではない。

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