原子間力顕微鏡(AFM)によるナノメートルサイズ表面凹凸観察

keywords.jpgAFM,ナノメートル表面凹凸,凹凸像,モフォロジー 

高萩 隆行 

TAKAYUKI TAKAHAGI

division.jpg先端物質科学研究科 量子物質科学専攻 量子物質科学講座

position.jpg教授

研究概要

研究内容

鏡面研磨された材料にも極微小な凹凸が存在している。材料表面の高機能化のためには可視光線の波長の十分の一以下のナノメートル凹凸表面を作製する事が必要となる。
 ナノメートルでの表面制御を行うためには、ナノメートルで表面の凹凸を計測することが必要である。表面凹凸のもっとも容易な観察方法は走査電子顕微鏡(SEM)による表面像の撮影であるが、SEMでは通常ナノメートルオーダーの凹凸の検出は困難である。
 原子間力顕微鏡(AFM)は対象物の電気伝導性と問わずにナノメートルレベルの凹凸像を得ることができる。また、標準スケールを用いることによって凹凸の絶対測定も不可能ではない。

実用化に向けて(想定業界・用途、課題、企業への期待など)

この分野に関心のある企業等との共同研究・受託研究は可能である。

お問い合わせ