ダイヤモンドナノ粒子を用いた薄膜形成

keywords.jpgダイヤモンドナノ粒子,精製法,低誘電率膜,ストッパー膜,超高精度研磨膜 

高萩 隆行 

TAKAYUKI TAKAHAGI

division.jpg先端物質科学研究科 量子物質科学専攻 量子物質科学講座

position.jpg教授

研究概要

研究内容

直径5nm程度のダイヤモンドナノ粒子がTNT火薬の爆発法で形成さて商業販売されているが、これらには、各種の副反応物や原料物質等の不純物を含んでいる。また、ナノ粒子同士が結合していて、塊状になっている。我々は、これらの不純物の除去法や単粒子化法を確立している。
 また、さらにダイヤモンドナノ粒子のコロイドをスピンコート法でシリコンウエハ等の基板表面にコートして、ナノダイヤモンド薄膜を形成している。さらに、ナノダイヤモンド間をシランカップリング剤等で結合することにより強固な薄膜を形成することができている。
 この膜は、デバイスの低誘電率膜を目指して開発しているものであるが、その硬度や弾性率の高さなどから、ストッパー膜や超高精度研磨膜としての応用も考えられる。

実用化に向けて(想定業界・用途、課題、企業への期待など)

この分野に関心のある企業等との共同研究・受託研究は可能である。

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