半導体表面への有機自己組織化膜の形成と表面物性の制御

概要

研究内容
将来の電子デバイスとして期待されている分子素子作成のためには、分子素子本体を形成することになる有機分子と従来の電子デバイスの基幹材料である半導体をうまく組み合わせる必要が不可欠である。そのひとつの試みとして、シリコンウエハ等の半導体基板表面に有機分子の自己組織化膜を形成する研究が進められている。
 我々も20年来シリコン表面への自己組織化膜形成とその化学構造解析およびその表面電子物性を中心研究を行ってきた。このため、自己組織化有機膜の形成に適した半導体表面の形成方法や、自己組織膜の形成法に関して豊富な知識を蓄積している。 

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