レーザーアブレーション法を用いた光機能性薄膜作製技術の開発

keywords.jpgレーザーアブレーション,プラズマ,光機能性薄膜,分光計測技術,酸化亜鉛 

多幾山 憲 

KEN TAKIYAMA

division.jpg工学研究院 エネルギー・環境部門 エネルギー工学講座

position.jpg教授

共同研究者 : 難波 慎一

研究概要

研究内容

近年、レーザーなどの高エネルギービームにより生成されるアブレーションプラズマを、機能性薄膜作製、材料加工、医療、材料創製などへ応用する技術が注目されている。
 当研究室では、紫外レーザーなどの光機能性素子や太陽電池用透明電極などへの応用が期待されている酸化亜鉛(ZnO)をターゲットとして、レーザーによって生成されたZnOプラズマの生成から消滅までのダイナミクスを解明し、高効率高品位の薄膜作製を試みている。特に、最新の分光技術を用いてプラズマ中の様々な素過程を原子・分子過程の観点から解明すること、さらには、プラズマと堆積膜特性との相関を明らかにすることを通じて、良好な薄膜を作製する上で重要なパラメータを把握し、薄膜作製条件の最適化を行っている。

実用化に向けて(想定業界・用途、課題、企業への期待など)

新規化合物への応用展開、実用化に関し、企業等との共同研究を行いたい。

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